〔待建〕MEMS 器件与微纳加工
这个槽位虚位以待。如果你熟悉该领域,欢迎通过参与建设推荐课程,一起完善这份学习地图。
复旦校内课程(2025 培养方案)
以下课程页为占位骨架,欢迎修过的同学补全:
为什么需要它
服务方向:MEMS与微纳传感器。
把力、声、光、化学量翻译成电信号的器件家族:体硅/表面微加工、键合、谐振器、加速度计。共享 CMOS 工艺平台但有自己的设计方法学(UCB EE C245 是该领域经典课,征集确认有公开视频的版本)。
征集标准
- 课程有公开可看的完整视频(B 站 / YouTube / 可免费旁听的 MOOC,校内平台不算)
- 推荐时请附课程主页与视频直链,注明学校、教师、讲数
- 中英文不限,入门与进阶皆可,请说明定位