集成电路工艺：补充资源
系统视频课程
KAIST 半导体制造工艺（Coursera）
- Part 1：https://www.coursera.org/learn/semiconductor-process-1
- Part 2：https://www.coursera.org/learn/semiconductor-process-2
- 课程难度：🌟🌟🌟🌟
- 简介：KAIST 出品，完整覆盖半导体制造全流程——氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀、薄膜沉积、金属化与封装。Coursera 上该方向内容最完整的免费工艺课。
NPTEL：IIT Madras VLSI Technology（Nandita Dasgupta）
- 课程主页：https://nptel.ac.in/courses/117106093
- 简介：IIT Madras Nandita Dasgupta 教授主讲，系统讲授 BJT/MOSFET 器件工艺全流程（晶体生长、热氧化、扩散、光刻、金属化），视频免费完整开放
中文参考
西安电子科技大学：现代集成电路制造技术（中国大学 MOOC）
- 课程主页：https://www.icourse163.org/course/XDU-1461793184
- 简介：西电开设，系统讲授硅片制备、热氧化、扩散、离子注入、PVD/CVD、光刻、刻蚀、金属互连及完整 CMOS 工艺集成流程，是非复旦学生入门 IC 工艺的首选中文 MOOC