复旦：现代集成电路光刻技术导论

课程简介

所属大学：复旦大学
课程代码：ICSE30032
学分/学时：2 学分 / 36 学时
修读要求：选修（新制造模块）
考核方式：期末考试
任课教师：伍强+一位非固定老师
课程难度：🌟🌟🌟

本课程内容着眼于集成电路工艺流程中的光刻步骤，细致地对传统光刻工艺中的光刻流程、光学成像原理、光刻胶、光刻机、轨道机、光刻测量设备等内容进行了介绍，同时也详细讲解了现代光刻工艺中的浸没式光刻、极紫外光刻机、先进技术如多重图形技术、下一代光刻技术等内容，课堂知识量基本相当于伍老师著作（见下方）的压缩版，通识性强。伍强老师是复旦集成电路学院少有的光刻专家，他本人的讲课风格生动活泼，授课时也常会分享一些自己早年间在工程界的经验和见闻。个人感觉课堂听讲实际的收获要比书本上的知识多很多，相当推荐对光刻工艺感兴趣的同学修读本课程。另外，临近期末时老师会为同学们划重点，期末复习压力也不算很大。